半導(dǎo)體冷熱臺,探針熱臺 EH600S是一款針對研究樣品變溫電學(xué)性能測試而設(shè)計的產(chǎn)品，可表征樣品電學(xué)性能隨溫度變化的特征。產(chǎn)品采用電阻加熱的方式，實現(xiàn)RT~600℃范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制，與其他電學(xué)儀表（如電橋、源表、萬用表等）搭配集成，進(jìn)行變溫原位測試。

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

果果儀器(GoGo Instruments)探針熱臺是一款針對研究樣品變溫電學(xué)性能測試而設(shè)計的產(chǎn)品，可表征樣品電學(xué)性能隨溫度變化的特征。

探針熱臺 EH600S采用電阻加熱的方式，實現(xiàn)RT~600℃范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制，與其他電學(xué)儀表（如電橋、源表、萬用表等）搭配集成，進(jìn)行變溫原位測試。

探針熱臺 EH600S需要與溫度控制器配套使用，配套的上位機(jī)溫控軟件方便進(jìn)行溫度設(shè)置及采集，提供的Labview Vis/C# SDK方便客戶進(jìn)行定制化編程。

圖1 探針熱臺

產(chǎn)品特點：

詳細(xì)參數(shù)一覽表：

探針熱臺		EH600S
溫控模塊	冷熱方式	電阻加熱
	溫控范圍	RT～600℃ *
	溫度穩(wěn)定性	±0.1℃ *
	溫度分辨率	0.1℃
	升降溫速率	0~30℃/min（可定點 / 程序段控溫）
	溫控方式	PID
	溫度傳感器	PT100
光學(xué)特性	光路	透射光路 *可選反射光路
	視窗材質(zhì)	石英玻璃（可手動拆卸更換）*
	視窗尺寸	Φ25mm *
	物鏡工作距離	7mm *
	透光孔	默認(rèn)透光孔 *可選無透光孔
電學(xué)特性	探針	2個磁吸探針/4個磁吸探針手動定位 *
	探針接口	BNC接口 *可選SMA接口
	樣品臺面電位	默認(rèn)電懸空 *可選電接地
結(jié)構(gòu)特性	樣品臺尺寸	20×20mm *
	樣品臺材質(zhì)	不銹鋼 *
	外形尺寸	116×110×25mm *
	樣品腔高度	6mm *
	腔室	氣氛 *可升級真空
	外殼冷卻	循環(huán)水
基本配置	探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、循環(huán)水系統(tǒng)x1、溫控軟件x1
選配	電腦主機(jī)/安裝支架/真空系統(tǒng)/定制溫控軟件
備注	以上均為默認(rèn)參數(shù) * 為可定制項

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